東京工業大学 未来産業技術研究所 メカノマイクロプロセス室
東京工業大学 科学技術創成研究院 未来産業技術研究所
メカノマイクロプロセス室
(運営委託) OFC マイクロプロセス部門

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東京工業大学
すずかけ台キャンパス 

マイクロプロセス部門 内線 5074
メカプロ室1 内線5863
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