メカプロプロセス室1,2

　すずかけ台キャンパスのR3-D棟の３階にある「100m²のクラス1000(ISO 6)のクリーンルーム」と「90m²のクラス10000(ISO 7)のクリーンルーム」です。

微細加工に必要な一連の装置が設置されています．クリーンルームと装置群の管理・運営はコアファシリティセンターマイクロプロセス部門に委託され， 学内外の希望者には一定の条件（費用負担を含む）のもとに，設備の使用を認めています．使用者は，初回講習および各装置の講習の受講が必要となります．

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装置紹介

設置されている主要な研究支援設備はこちら

他にも装置がございますのでお気軽にお問い合わせください。