メカノマイクロプロセス室は,全学共用クリーンルームです．
学内研究室所属の学生は9万円〜/年で使用可能です．
微細加工装置一式に加えて，SEMやDektakなどの評価装置も利用料金込みでご使用できます．
(管理運営：リサーチインフラ・マネジメント機構　コアファシリティセンター　マイクロプロセス部門)