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利用登録

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見学やご相談、利用登録はマイクロプロセス部門にご連絡ください。
semi-mem"at"ofc.titech.ac.jp
"at"を@に変えてメールください。
教職員から直接ご連絡いただくか、ccに入れてご連絡をお願いいたします。

メカノマイクロプロセス室の運用規則はこちら
利用の流れはこちら　

●他機関所属の学生の方へ●
他機関所属の学生も“他大学等学生年間パスポート制度”を利用することで本施設をご利用いただけます．
お気軽にマイクロプロセス部門までご連絡ください．

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初回講習

利用登録後、初回講習を受講してください。
未受講者はご入室いただけません。

利用登録後、初回講習前までにご用意いただくもの

・無塵衣
・CR用帽子
・靴(共用有)
・手袋(パウダーフリー)
・マスク
詳しくは幹事までお問い合わせ下さい。

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装置講習

初回講習受講後、利用を希望する装置の担当者まで講習の申込をおこなってください。

≪装置担当者連絡先≫
電話：045-924-XXXX 　　(XXXX：内線番号)
"at"を@に戻していただきメール送信していただきますようお願いいたします。

	メールアドレス	内線
松谷　部門長	matsutani.a.aa"at"m.titech.ac.jp	５０７４
佐藤　技術専門員	sato.m.ar"at"m.titech.ac.jp	５０７４
遠西　技術職員	tohnishi.m.ab"at"m.titech.ac.jp	５０７４
藤本　技術職員	fujimoto.m.af"at"m.titech.ac.jp	５０７４

担当一覧

メカプロ室全般	初回講習・実験相談		松谷
	幹事		佐藤
メカプロ1	リソグラフィ	マスクアライナ(ミカサ)	藤本
		EB描画装置(東テク)	藤本
		EB描画装置(サンユー)	藤本
		マスクレス露光装置	藤本
	エッチング/成膜	Deep-RIE	松谷
		RIE	松谷
		CCP-CVD	遠西
		スパッタ装置(サンユー)	佐藤
		スパッタ装置(アネルバ)	佐藤
		簡易蒸着装置	佐藤
		EB蒸着装置(サンユー)	佐藤
		簡易スパッタ装置	松谷
	評価	SEM・Auコーター	佐藤
		Dektak(Veeco)	遠西
		エリプソ	佐藤
	その他	ダイシングソー	遠西
		臨界点乾燥装置	松谷
メカプロ2	リソグラフィ	マスクアライナ(共和理研)	藤本
	エッチング/成膜	RIE	遠西
		ECRイオンシャワー	松谷
		XeF気相エッチング装置	松谷
		EB蒸着装置(アルバック)	藤本
	評価	Dektak（ブルカー)	遠西
		AFM	遠西
	その他	陽極接合	遠西
		その他 顕微鏡各種・UVオゾンクリーナー	近くの職員に お声がけください

上記表にない装置はマイクロプロセス部門semi-mem＠ofc.titech.ac.jpへお問い合わせください。
機器の異常，故障などが生じた場合は，担当者まで必ず連絡してください。
担当職員が不在の場合は誰でもよいので報告してください。そのまま放置しないこと！

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